一. 半导体制造行业存在的电能质量问题

       半导体是许多工业整机设备的核心，普遍应用于计算机、通信、消费电子、汽车、工业/医疗、军事/政府等核心领域。 半导体制造工厂关键设备多、大规模使用电力电子器件、工艺步骤繁多复杂，其供配电系统稳定、可靠的运维不仅是其安全生产的基本保证，还关系到产品质量和生产的顺利进行。

二. 半导体制造谐波从哪里来

        半导体制造的生产设备中的单晶炉、多晶炉、IC测试台、PLC控制的机械手、芯片制造用的晶圆机或变频控制的半导体机台都会产生大量的谐波。大多数单晶炉是采用中频感应电源加热的工作方式，中频电源的主电路包含整流、逆变电路，产生的谐波以5次、7次、11次、13次为主，并且谐波电流畸变率通常为30%以上，谐波电流畸变率很高。

三. 半导体制造谐波的痛点

       半导体制造业属于资金和技术高度密集的精密制造行业，生产过程要求环境洁净度高，大规模使用电子器件和集成电路且自动化程度比较高，集成电路芯片制造关键设备多、工位器具多、工艺步骤繁多复杂。除供配电系统外，还需传送系统、超纯水净化系统、真空系统、气冷风冷系统、特殊气体分配系统来保证生产过程的顺利实施以及关键设备的安全运行。由于整个工厂的生产条件最终通过电能供给来实现，因此半导体芯片制造对供电质量要求特别高。

      单晶炉等设备产生大量的谐波，它们不但会造成机台设备自身的坏机现象，回流进电网的谐波电流还会引起其它回路的发热、电子开关误动作、供电电压不稳，甚至引起生产线停线、半成品的报废，造成损失会非常大。

四. 半导体制造谐波治理方案

希形科技EasyPQ-APF系列有源滤波器可治理2-50次谐波，对低次谐波（13次以内谐波）谐波滤除率可以达到95%以上。半导体制造业产生大量谐波，主要以5次、7次、11次、13次为主，希形科技EasyPQ-APF系列有源滤波器可以全面治理这些次数谐波，使配电系统电能质量大大提高，保障用电及生产安全。

半导体制造业通常采用集中治理的滤波方案，将APF有源滤波器安装在配电系统电力干线上。